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美國開發出清潔芯片的環保新技術

東方網2月18日消息:美國國家能源部洛斯阿拉莫斯國家實驗室的科學家宣布,他們已經開發出一種新型環保技術,可以大大減少生產電腦芯片和集成電路時所使用的腐蝕性物質,同時不會產生大量廢水。

據新華社報道,一般在生產芯片過程中,首先要使用高強光、強酸和光致抗蝕劑等腐蝕性物質來改變 片外形,刻蝕出微型集成電路及芯片,然後再用大量溶媒和超級純淨水將芯片上殘留的光致抗蝕劑等腐蝕性物質衝洗掉。美國一般的芯片制造工廠,平均每天要消耗數千加侖的硫酸和鹽酸等腐蝕性物質,並產生400萬加侖的廢水,對環境造成了很大危害。

從正在召開的美國科學促進協會年會上獲悉,洛斯阿拉莫斯國家實驗室研制出的這種環保新技術名為SCORR。它是在高溫高壓下用超臨界二氧化碳代替了溶媒和超級純淨水,這不僅降低了成本,也保護了環境。

該研究項目的負責人克雷格•泰勒說:“在高溫高壓下,超臨界二氧化碳呈液態,可以起溶媒的作用,在少量其他溶媒的幫助下,能有效去除芯片上殘留的光致抗蝕劑。當壓力和溫度下降後,超臨界二氧化碳呈氣態揮發,使 芯片變得干燥無塵。”

據介紹,洛斯阿拉莫斯國家實驗室開發的這項新型技術不會產生大量有害廢物,因為它設計的封閉循環繫統可以在處理過程中循環使用二氧化碳,並且不會向大氣釋放溫室氣體,而添加的少量其他溶媒也很容易分離出來,可以重新收集再使用。

(記者 張小軍 吳偉農 編輯 木子)
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